9月10日，在2017中国（上海）国际传感器技术与应用展览会暨2017全球传感器与物联网产业峰会上，中国科协副主席、中国科学院院士王曦，工信部原副部长杨学山，国家集成电路产业投资基金总经理、中国高端芯片联盟理事长丁文武，工信部电子司副司长吴胜武，上海科学技术委员会主任寿子琪，上海市嘉定区委书记马春雷共同启动上海微技术 工业研究院“超越摩尔”研发中试线运营，标志着由上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）构建的国内首条，全球领先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式投入运营，月产量将达到3000件。目前，已有一款温度传感器即将投入生产，还有10余个项目正在等待下线生产。

马春雷表示，面向未来，嘉定要建设成为一个现代化新型城市，这座城市要有独立的城市框架，有完善的高等级功能配套，包括产业功能，城市基础设施功能，社会事业功能，生态功能和社会管理功能。这个城市应该是有魅力、有实力、有活力、有凝聚力的。在这个变革发展中，在新常态下产业结构的调整十分重要。我们依托创新驱动来推动未来的产业结构调整，集中打造四大产业，其中之一就是集成电路与物联网产业。嘉定充分依托了科研院所优势，很多的相关机构在嘉定落户，为嘉定未来发展奠定了基础。特别是，我们与王曦院士的合作，集聚了大量的物联网领域的研发机构和人才，成为全国有竞争力的物联网研发基地，为国家做出嘉定应有的贡献。也希望有更多的人才和企业能够来到嘉定落户，嘉定将不惜余力的在产业平台的搭建、人才保障等方面提供服务。

如今，以移动互联网、物联网、云计算、大数据、人工智能等为代表的信息技术正加速创新、融合和普及应用，一个万物互联智能化时代正在到来。其中，超越摩尔技术以传感器为核心，结合射频、功率、微能源等技术，是未来实现万物互联的基础性、决定性核心技术之一。

“8英寸研发中试线将为科研院所、高校提供服务，打通研发到生产的高速通道。”上海新微技术研发中心有限公司Fab运营副总裁游家杰解释道，“8英寸研发中试线的优势不是追求物理极限，而是追求材料和工艺上的创新，可以说我们正在尝试‘跨道超车’。”

据介绍，传感器的市场应用已呈现爆发式增长态势，产品种类丰富，多达上千， 此前美国举行的MEMS Bryzek预测MEMS芯片市场将在2023年达到1兆片（trillion）的市场规模，同时，中国智能传感器市场也预计将于2019年达到960亿元。

然而，纵观我国超越摩尔领域现状，虽经历多年的理论研究与技术验证，积累了大量宝贵的知识和经验，但在真正放进产品进行实际应用时往往存在与生产平台脱节的情况。这都是源于MEMS产品的研发所涉及的技术链条较长，且其“非标”特性使得它的研发与创新需要和产线有一段比较长的磨合期，不同于CMOS的标准工艺，可以说对产线“严重依赖”。

记者在位于上海嘉定工业区的8英寸研发中试线工厂看到，近5,000平方米的高等级微纳加工超净厂房内，工研院与国际领先的晶圆厂密切合作构建的8英寸“超越摩尔”研发中试线，不仅实现了从研发到量产的无缝衔接，更丰富完整了国内的超越摩尔生态链，是对标国际产业竞争的关键一环。

目前，在“超越摩尔”领域，相比于业界普遍使用的6英寸产线，贯通从研发到量产全程服务的SITRI 8英寸线是公认的领先技术。8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发，可以全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内第一条先进8英寸研发中试线，SITRI的8英寸研发中试线不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，有助于提升研发的成功率，更将助力实现 “超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。

此外，以“超越摩尔”8英寸研发中试线为支点，上海微技术工研院试图打造集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台，为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案。

在研发创新环节：工研院建立了全国首个成熟、完善的MEMS-IC软件设计平台、开发MEMS-ICIP核库；近5,000平方米的先进“超越摩尔”研发8英寸研发中试线更将专注于新工艺、新材料及新器件的开发与整合；同时提供集成电路设计、系统集成及以及完整物联网系统解决设计方案；在中试制造环节：工研院建立全球领先8英寸MtM研发中试线、世界先进的工程测试分析平台、MEMS/ASIC的晶圆测试、封装测试等测试能力；提供完整的专利及器件分析、研究服务，并提供知识产权许可、保护及谈判方面的专家级指导；在产业整合领域：工研院将进一步推动例如汽车电子、智慧医疗、智能安防、智能家居、智能消费类产品等细分物联网市场与传感产业进行垂直产业链与横向服务市场的整合，推进相关产业的快速发展；发起并参与例如中国传感器与物联网产业联盟，“超越摩尔”产业技术创新联盟等产业联盟，更将推动 “超越摩尔”及物联网产业的关键标准方面制定，并通过SENSOR CHINA等展会与系列活动提供全球范围的市场支持；构建全球创新网络：工研院在美国硅谷、法国格勒诺布尔、台湾新竹等地建立分支机构，在全球范围内布局创新网络；投资基金与孵化加速器：由工研院、国家集成电路产业投资基金以及其他战略投资人共同发起成立规模为50亿元的“超越摩尔”产业基金，为创新企业提供关键的早期支持；并配套全球化创新网络提供软硬件结合的孵化服务。

未来，以8英寸线强劲的技术支持为依托，以投资基金和孵化加速器为支撑，工研院致力于“超越摩尔”领域和物联网行业初创团队的投资与孵化，让产业资源和资金优化配置，加快技术研发和企业孵化，在全球范围内布局创新网络，真正营造“超越摩尔”产业创新生态。

来源：《嘉定报》 记者  李华成